Prozesstechnische Anlagen

Unser jüngstes Standbein ist der Bau von vollautomatischen Nassprozessanlagen für die Wafer-Herstellung, Halbleiterindustrie und Photovoltaik-Branche.

Einerseits arbeiten wir dabei mit branchenüblichen Standards (Anforderungen an Reinheit und Sicherheit), andererseits sind wir aber auch in der Lage, kundenspezifische Erfordernisse (Beckenanzahl und Design, Aufbereitung und Messtechnik) zu integrieren.

Wir liefern Ihnen ein System, dass genau auf Ihren Reinigungs-, Textur-, Nassätz- oder Kombinations-Prozess zugeschnitten ist.

Wir bieten Ihnen auch Tools für den Übergang aus der manuellen Prozessentwicklung in den automatisierten Fertigungsprozess. Die Systeme beinhalten eine frei programmierbare Rezeptverwaltung inklusive Datenspeicherung. Sie sind geeignet für Wafer bis zu 300 mm und Silizium für die Solarindustrie.