CVD-LRQ Reaktor
Labor Reaktor für die Qualitätsoptimierung
Labor Reaktor für die Prozesssimulierung

CVD-LRQ Reaktor

CVD-LRQ Reaktor - Vorteile

  • betriebssicher durch integrierte Gassensoren
  • entwickelt für PLUG&PLAY Installation
  • innere Prozesskammer aus Quarzglas
  • bis 1 bar Betriebsdruck
  • wassergekühlte Elektroden
  • vollautomatischer Prozessablauf
  • installiertes Sicherheitsprogramm
  • Edelstahlglocke im Prozessraum (optional: Silberverkleidung)
  • höhere Gastemperaturen
  • Enddurchmesser am Siliziumstab bis 30 mm
  • Stablänge von 200 mm bis 300 mm einsetzbar
  • alle Medienanschlüsse wahlweise von oben oder unten möglich


CVD-LRQ Reaktor - Leistung

  • Betriebsdruck Qualitätsreaktor: ~ 1 bar
  • Betriebstemperatur: max. 1150 °C
  • Slimrod-Länge: 2 x 200 mm oder 2 x 300 mm
  • Slimrod-Durchmesser: 6 x 6 mm / 7 x 7 mm / 8 x 8 mm
  • Druckluftstrom: 11,5 m³ / h
  • Endgültiger Durchmesser: 30 mm
  • Verbrauch H2:        ?
  • Verbrauch SiHCI3:    ?
  • Depositionszeit: 20 mm Durchmesser: ~ 12 Stunden,
    30 mm Durchmesser: ~ 18 Stunden


CVD-LRQ Reaktor - Technologie

  • Labor-Reaktor für die Qualitätskontrolle (CVD-LRQ)
  • Labor-Reaktor für Prozesssimulierung (CVD-LRT)
  • Labor-Silan-Reaktor
  • Slim-Rod Schweißanlage
  • Laborwäscher für CVD Reaktoren und Labortechnik
  • Glockenreinigungsanlage
  • Polysilizium-Ausrüstung
  • Slim-Rod-Säge
  • Laboreinrichtungen


CVD-LRQ Reaktor - Software

  • Spannungsversorgung, drei Phasen 230/400 V (+ - 15%) 80 A 50/60 Hz
  • Stromversorgung Format TN-C-S geerdet PEN
  • WinCC Benutzeroberfläche
  • Vollautomatischer Prozess vom Erhitzen bis zur Abkühlung


CVD-LRQ Reaktor - Anschlusspunkte

  • Kühlwasser: in Swagelok ½“ male
  • Kühlwasser: aus Swagelok ½“ male
  • Instrumental Luft: Swagelok ½“ male
  • Stickstoff: VCR ¼“ male
  • Hydrogen: VCR ¼“ male
  • TCS / STC: VCR ¼“ male
  • Abgas Wäscher1: Swagelok ½“ male
  • Spülung Wäscher2: G 2“ female
  • Cabinet Spülleitung zu Wäscher 2: Swagelok 2" AG
  • Rohrleitungswerkstoffen und Größen im Labor und zum Reaktor:
    Gasleitungen in das Labor in ¾”
    Flüssige Medien in ½” und Berechnung
  • Die Rohrleitungsqualität soll in Stainless Steel 1.4404 elektro poliert
    ausgeführt werden TCS Filter, Füllvermögen 500ml max, 20 Mikrons


CVD-LRQ Reaktor - Dokumentation

  • Installationsanleitung
  • R&I
  • Wartungsliste
  • Bedienungsanleitung
  • Sicherheitshandbuch
  • Software-Beschreibung
  • Endabnahme-Testprotokoll
  • Handbuch für Reparaturarbeiten
  • Schulungs-CD
  • Zertifikate
  • Ersatzteilliste


CVD-LRQ Reaktor - Montage

  • Wenn der Kunde bestätigt, dass alles bereit für die
    Inbetriebnahme ist, werden unsere Techniker vor Ort sein.
  • Inbetriebnahme der Reaktoren durch …
  • Übergabe der Reaktoren an Kunden nach erfolgreichen Tests
  • Einschulung der Betreiber und des Wartungspersonals


CVD-LRQ Reaktor - Medien

  • Kühlwasser salzfrei VE oder DI Qualität: 10-20 uS/cm
  • Kühlwasserdurchfluss (gefiltert 5 µm): 8,0 (± 0,5) l/min
  • Kühlwasserdruck: 3,0 (± 0,5) barg
  • Kühlwassertemperatur: 20,0 (± 5,0) ° C
  • Druckluft: 8,0 (± 0,5) bar
  • Instrumental Luft (ölfrei, trocken): 8,0 (± 0,5) barg
  • Nitrogen 5,0 ppm: 8,0 - 10,0 barg
  • Hydrogen 6,0 ppm: 6,0 - 8,0 bar
  • TCS (flüssig) min 99,8: 5,0 - 7,0 bar
  • Abgas: Drucklos Wäscher 1
    Durchfluss ~ 3,0 m³/h
  • Spülen und Sicherheit: Drucklos Wäscher 2
    Durchfluss ~ 180 m³/h


CVD-LRQ Reaktor - Kundeninfo

    Abgas und Sicherheitsrohr
  • Alle Verbindungsstellen sind auf der Ober- oder
    Unterseite, je nach Kundenwunsch
  • Spezielle Vorrichtung: wenn ein Problem auftritt werden alle
    TCS- und H2-Leitungen geschlossen und das gesamte
    System wird mit N2 gespült
  • Wir bieten ein alleinstehendes Wäscher-System an
  • N2-Spülung und Sicherheitsspülung gehen über Wäscher 2
  • Der Prozess wird vollständig automatisch gesteuert durch SPS (S7)
  • Bereitstellung eines Labor R&I

    Hardware und Software für die automatische Steuerung
  • Siemens S7 SPS + WinCC für die Automatik-Steuerung
  • Typ Siemens S7-300-Bus