Neue Generation
Slurry Recycling Station
kompakte Bauweise
Vor- und Feinfilter
exakte Temperaturführung
sensorgeführte Prozessführung
Moderne Dosiertechnik

Slurry Recycling Station

Eine perfekte Oberflächenbeschaffenheit ist die Vorgabe für Produktionsprozesse in der Halbleiterindustrie. Umfangreiche Polierprozesse wie CMP (Chemisch-Mechanisches Polieren) oder DSP (Double Side Polishing) bestimmen die Qualität der Erzeugnisse. Höchste Präzision, Reinheit und Kosten sind dabei kritische Faktoren für den Erfolg.

Als namhafter Partner in der Halbleiterindustrie ist PUE Systems mit seinen Entwicklungen immer ganz nahe an den Anforderungen der Kunden. Mit unserem neuen Slurry-Recycling-System können erhebliche Kosten eingespart werden. Denn bislang musste beim Polieren oder Planarisieren die mit abgetragenem Werkstoff angereicherte Suspension entsorgt und ersetzt werden. Mit dem kompakten Slurry Recycling System, das einfach in den Polierprozess integriert werden kann, wird die Slurry, die vom Polierer kommt, gesammelt und gefiltert. Die PH-Kontrolle bestimmt, ob die recycelte Slurry für gewisse Zeit erneut verwendet werden kann. Andernfalls wird mittels chemischem "Spiking" die recycelte Slurry mit Frisch-Slurry gemischt und für einen neuen Poliervorgang geschärft. Die Dosierung erfolgt automatisch. Dank effizienter Rückgewinnung bei niedrigem Energieverbrauch kann der Wertstoff im Polierprozess kostensparend wiederverwendet werden. Das senkt nicht nur Produktionskosten, sondern trägt auch wesentlich zur Senkung der Umweltbelastung bei.

Auf Basis unserer Erfahrung und der von uns entwickelten Misch- und Versorgungssysteme für verschiedene Slurries ist dieses innovative Produkt zur Wiederaufbereitung gebrauchter Slurry entstanden. Die Slurry Recycling Station von PUE Systems ist sehr kompakt und wurde als Stand-Alone-Version entworfen. Sie ist als Ad-on für die Polier-Slurry verfügbar und wird in der Versorgungsebene unterhalb der Poliermaschine aufgestellt, um die Schwerkraft zur Befüllung des Recyclingsystems zu nutzen.

Puerstinger High Purity Systems liefert und installiert Komplettlösungen und maßgeschneiderte Speziallösungen rund um den gesamten Produktionsprozess vom Impfkristall bis zum fertigen Wafer. Als namhafter Partner in der Halbleiterindustrie decken wir ein sehr breites Spektrum ab und unterstützen die hochkomplexen Prozesse unserer Kunden. Für die Halbleiterindustrie bieten wir verschiedenste Slurry Mix Systeme und Versorgungssysteme wie CDS an, z.B.:

  • Oxide Slurry
  • Wolfram Slurry
  • Kupfer Slurry
  • Tantal Slurry uvm.