CMP Slurry Misch- und Versorgungssystem: Wir erreichen die hohe Mischgenauigkeit der Slurry-Komponenten in Mischbehälter durch den Einsatz von Wiegezellen. Nach dem Transfer vom Mischtank in den Puffertank (Daytank) erfolgt die Versorgung des CMP-Systems über eine Ringleitung mittels geregelter Kreiselpumpen.

Details eines CMP-Slurry Misch- und Versorgungssystems mit Dosierpumpen, Behältern, Versorgungspumpen, Wiege- und Messtechnik.

Detail eines vollautomatischen Slurry Misch- und Versorgungssystems. Hohe Mischgenauigkeit durch Einsatz von Wiegetechnik.

Konzeptstudie einer Poliermittel Misch- und Versorgungsanlage mit redundanter Filtration und Versorgung. In der Recyclingstation erfolgt das "nachschärfen" der gebrauchten Slurry mit Chemie und eine mehrstufige Filtration. Das so wiederaufbereitete Poliermittel wird als Teilmenge dem Frischansatz wieder hinzu gefügt. Dies Bedeutet eine erhebliche Kosteneinsparung.

Beim Kunden aufgestellte und installierte Poliermittel Misch- und Versorgungssysteme.

Modulares Poliermittel Misch- und Versorgungssystem mit Dosier- und Mischbehälter. Filtration und Transferpumpen sowie einem Puffertank und den Versorgungspumpen.

Die beiden Behälter im Läppmittel Ansatz- und Versorgungssystem werden abwechselnd als Misch- bzw. Versorgungsbehälter verwendet. Über die zentral angeordnete Kreiselpumpe wird der Feststoff bei einem Slurry-Neuansatz angesaugt.

Kompaktes Slurry- Misch- und Versorgungssystem. Aus zwei Slurry -Komponenten und Di-Wasser wird die Gebrauchs-Slurry zunächst gemischt und dann über intergierten Pufferbehälter der Produktion über ein Ringleitungssystem zur Verfügung gestellt. Das Beladen mit 2 verschiedenen Liefergebinden erfolgt über Rollenboden. Der Gebinde-Anschluss von außen über Sichtfenster und Schutzhandschuhe.