Know-how

Manuell | Integrierbar Laborabzüge.

Geschlossene Laborabzüge werden zur Entwicklung neuer Prozessschritte benötigt. Sie sind für Arbeiten im Laborbereich sowie im Reinraum konzipiert und werden zur Qualifizierung einem SF-6 Test unterzogen.

  • Beispielversion – Perforierte Arbeitsplatte
  • Elektr. leitfähiger Kunststoff od. Edelstahl
  • Spülbecken + Absaugung
  • 2 Heizplatten
  • Spin Coater
  • Lagerflächen

Individuell konfigurierbar

Laborabzüge

Unsere Laborabzüge aus Kunststoff oder Edelstahl sind wie die Nassbänke mit unterschiedlichen Ausrüstungskonfigurationen lieferbar. Die Konfiguration wird zusammen mit dem Kunden bestimmt.

Zum Zubehör gehören bei Bedarf auch Substrathalter oder Spezialcarrier für die zu prozessierenden Bauteile. In der Edelstahlvariante ist eine ATEX-Zulassung möglich. Im Gegensatz zu den Nassbänken sind die Abzüge mit einer kompletten Einhausung ausgestattet. Ein automatisch gesteuerter Frontschieber schützt die Umgebung vor austretenden Dämpfen.