Know-how

Mischsysteme Slurry.

Mit unseren Slurry Misch- bzw. Versorgungssystemen ist es möglich, mit nur einer Anlage Ansätze von Kleinmengen bis hin zu 3.000l zu fahren.

Misch-, Transfer-, Versorgungs- und Tagestankmodul
Dosierung via Wiegesystem
< 0,5 % Mischgenauigkeit
3.000l/h Mischkapazität
Kunststoff

PUE Solutions

Chemie & Slurry.

Dieses modulare Poliermittel- Misch- und -Versorgungssystem verfügt über einen Dosier- und Mischbehälter sowie Filtration und Transferpumpen, Puffertank und Versorgungspumpen. Die Anlage dient zum Ansatz und zur kontinuierlichen Bereitstellung des zum Polieren der Transfermodul Steuerschrank Siliziumscheiben notwendigen Werkstoffs.

Das System ermöglicht die genaue Mengenangabe und Durchmischung von unterschiedlichen Chemikalien durch eine höchst präzise Mess- und Wiegetechnik. Die einzelnen Module sind durch Rohrleitungen verbunden, werden elektronisch gesteuert und sind miteinander vernetzt. Je nach Bedarf ist die Anfertigung von individuellen Behältergrößen möglich.