Know-how

Recycling Slurry.

PUE Systems, ein führender Partner in der Halbleiterindustrie, erfüllt stets die Kundenanforderungen. Mit unserem neuen Slurry-Recycling-System lassen sich erhebliche Kosten einsparen, da die bisher entsorgte und ersetzte Suspension wiederverwendet werden kann.

  • Stand Alone System
  • Add-On Polierslurry
  • Geringer Platzaufwand
  • Chemikalien Ersparnis
  • Kostenreduktion

PUE Solutions

Slurry Recycling.

Mit dem kompakten Slurry-Recycling-System, das einfach in den Polierprozess integriert werden kann, wird die vom Poliermaschine kommende Slurry gesammelt und gefiltert. Die pH-Wert Kontrolle bestimmt, ob die recycelte Slurry für gewisse Zeit erneut verwendet werden kann.

Andernfalls wird durch chemisches „Spiking“ die recycelte Slurry mit Frisch-Slurry gemischt und für einen neuen Poliervorgang geschärft. Die Dosierung erfolgt automatisch.

Dank effizienter Rückgewinnung bei niedrigem Energieverbrauch kann der Werkstoff im Polierprozess kostensparend wiederverwendet werden. Das senkt nicht nur Produktionskosten, sondern trägt auch wesentlich zur Senkung der Umweltbelastung bei.