![für Halbleiter- und Solarindustrie](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/image_kleinstnassprozess-reinigungssystem.png.pagespeed.ce.R1sVHEwUId.png)
![Abgeschotteter Arbeitsraum für den Operator](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/01_kleinstnassprozess-reinigungssystem.png.pagespeed.ce.RKANfZD0eK.png)
![Kompakte, modulare Bauweise](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/02_kleinstnassprozess-reinigungssystem.png.pagespeed.ce.3KqAYEfR-D.png)
![Sicheres Einbringen der Versorgungsgebinde](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/03_kleinstnassprozess-reinigungssystem.png.pagespeed.ce.fr2PkJuK8L.png)
![Vorkonfektionierte Schnittstellen](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/03_schneidekanten.png.pagespeed.ce.k4NKlB1Xro.png)
![Schutz durch transparente, verriegelte Schiebetür](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/05_WK_191-lightroom.jpg.pagespeed.ce.OohPI7kMqi.jpg)
![Gute Zugänglichkeit auch im Innenraum](/fileadmin/redakteure/Produkte/02_prozesstechnische-anlage/kompaktes-kleinst-nassprozess-reinigungs-system/06_WK_191-lightroom.jpg.pagespeed.ce.sH_e2H2bRL.jpg)
![für Halbleiter- und Solarindustrie](/fileadmin/_processed_/7/0/csm_image_kleinstnassprozess-reinigungssystem_f7116d545f.png.pagespeed.ce.sg561WRJKD.png)
![Abgeschotteter Arbeitsraum für den Operator](/fileadmin/_processed_/b/9/csm_01_kleinstnassprozess-reinigungssystem_2d211a4bd2.png.pagespeed.ce.-SUwV7FIdL.png)
![Kompakte, modulare Bauweise](/fileadmin/_processed_/d/1/csm_02_kleinstnassprozess-reinigungssystem_4c716a87af.png.pagespeed.ce.z1x7cXAkCC.png)
![Sicheres Einbringen der Versorgungsgebinde](/fileadmin/_processed_/9/1/csm_03_kleinstnassprozess-reinigungssystem_9b1396e3fd.png.pagespeed.ce._QqXyr9svL.png)
![Vorkonfektionierte Schnittstellen](/fileadmin/_processed_/7/8/csm_03_schneidekanten_3ed6b844ef.png.pagespeed.ce.ymzjY8EpP1.png)
![Schutz durch transparente, verriegelte Schiebetür](/fileadmin/_processed_/d/5/csm_05_WK_191-lightroom_a7b7342438.jpg.pagespeed.ce.hWSls9LXHx.jpg)
![Gute Zugänglichkeit auch im Innenraum](/fileadmin/_processed_/5/6/csm_06_WK_191-lightroom_b91380a1a2.jpg.pagespeed.ce.tBFRH-nepv.jpg)
Kompaktes Nassprozess-Reinigungssystem
Wir liefern Ihnen Systeme, die genau auf Ihre Reinigungs-, Textur-, Nassätz- oder Kombinations-Prozesse zugeschnitten sind. Durch den modularen Aufbau bieten wir Ihnen höchste Prozessflexibilität. Wir vereinen neueste Prozesstechnologien mit einzigartigen Qualitätsstandards.
Das von uns produzierte kompakte Nassprozess-Reinigungssystem bietet Ihnen folgende Vorteile für den Reinigungs- und Ätzprozess in der Halbleiter- und Solarindustrie:
- Permanente Prozessüberwachung
- Kompakte Bauform, schnelle Montage und Demontage möglich
- Hoher Produktdurchsatz bei höchster Prozessstabilität
- Flexible Warenaufnahme durch austauschbare Warenträger
- Begehbarer Arbeitsraum mit Reinraumklasse ISO 3 für den Operator
- Abgeschirmte Probenahmestelle inkl. Spülfunktion
- Hohe Wartungsfreundlichkeit
- Ultraschall-Becken
- Heißwasser-Trocknerbecken
- Aceton-Reinigungsbecken
- Stickstoff-Trocknungsbecken
- Integrierter manueller Arbeitsplatz