für Halbleiter- und Solarindustrie
Abgeschotteter Arbeitsraum für den Operator
Kompakte, modulare Bauweise
Sicheres Einbringen der Versorgungsgebinde
Vorkonfektionierte Schnittstellen
Schutz durch transparente, verriegelte Schiebetür
Gute Zugänglichkeit auch im Innenraum

Kompaktes Nassprozess-Reinigungssystem

Wir liefern Ihnen Systeme, die genau auf Ihre Reinigungs-, Textur-, Nassätz- oder Kombinations-Prozesse zugeschnitten sind. Durch den modularen Aufbau bieten wir Ihnen höchste Prozessflexibilität. Wir vereinen neueste Prozesstechnologien mit einzigartigen Qualitätsstandards.

Das von uns produzierte kompakte Nassprozess-Reinigungssystem bietet Ihnen folgende Vorteile für den Reinigungs- und Ätzprozess in der Halbleiter- und Solarindustrie:

  • Permanente Prozessüberwachung
  • Kompakte Bauform, schnelle Montage und Demontage möglich
  • Hoher Produktdurchsatz bei höchster Prozessstabilität
  • Flexible Warenaufnahme durch austauschbare Warenträger
  • Begehbarer Arbeitsraum mit Reinraumklasse ISO 3 für den Operator
  • Abgeschirmte Probenahmestelle inkl. Spülfunktion
  • Hohe Wartungsfreundlichkeit
  • Ultraschall-Becken
  • Heißwasser-Trocknerbecken
  • Aceton-Reinigungsbecken
  • Stickstoff-Trocknungsbecken
  • Integrierter manueller Arbeitsplatz